随着全球能源结构向清洁化、低碳化转型，氢能因其高能量密度、零碳排放等优势成为最具潜力的替代能源之一。氢气的安全检测变得至关重要，而高灵敏度、快速响应的氢气传感器成为关键。目前，钯镍薄膜因其优异的氢气敏感特性被广泛研究。
叙述国内外氢气传感器的研究现状
本研究旨在设计和仿真基于MEMS技术的钯镍薄膜氢气传感器，通过优化薄膜成分和结构，提高传感器的灵敏度和响应速度，满足氢能安全利用的需求。
本研究采用文献调研、仿真模拟和对比分析的方法，通过理论计算和实验验证，优化钯镍薄膜氢气传感器的设计和性能。
本文分为引言、钯镍薄膜氢气传感器设计、传感器性能仿真、结果与讨论、结论与展望五部分，系统阐述研究内容和成果。
详细介绍mems技术的内容
叙述钯镍合金的特性
氢气传感器的工作原理
MEMS钯镍薄膜氢气传感器的优势
基于MEMS技术，设计钯镍薄膜氢气传感器的整体结构，包括基片、隔绝层、测温薄膜、钯镍合金薄膜。
选择合适的材料和MEMS的工艺流程，确保传感器的高灵敏度和可靠性。基片的材料用二氧化硅，隔绝层的材料用氮化铝，测温薄膜用铂，本节详细描述材料选择，并分析材料的特性与优势。
详细叙述基于MEMS技术薄膜传感器的制备工艺及流程，包括溅射沉积技术、电化学沉积技术、光刻工艺等
建立钯镍薄膜氢气传感器的仿真模型，包括钯镍薄膜的电学特性和测温电阻的热学特性。
包括材料的参数属性设置、边界条件和初始条件设定
应力分布仿真，温度场仿真、热应变热膨胀仿真
分析仿真结果，包括当测温电阻通电后模型的温度场仿真分析，模型热膨胀分析，模型应力分布分析。
总结本研究的主要结论，包括传感器设计和模拟仿真的成果。
本文存在的不足，并提出改进传感器性能的具体措施，为后续研究提供参考。
提出未来研究的方向，包括新材料、新工艺和新应用。